MENU

版權所有:煙臺魔技納米科技有限公司    網站建設:中企動力煙臺    魯ICP備18048096號-1

 

E

R

E

S

I

C

V

三維飛秒激光納米制造,“3高”特點實現三維高精度加工

分類:
技術服務
2018/09/06 14:04
瀏覽量
【摘要】:
三維飛秒激光納米制造是指利用飛秒激光的高能脈沖直接作用于材料,實現三維的、深納米尺度分辨率和任意結構設計的無掩模板加工。三維飛秒激光納米制造的技術特點可概括為“三高”,即高精度、高度設計性和高度功能化。這3個技術特點均源自飛秒激光這種加工工具的高能量脈沖等超快激光特性。

三維飛秒激光納米制造是指利用飛秒激光的高能脈沖直接作用于材料,實現三維的、深納米尺度分辨率和任意結構設計的無掩模板加工。三維飛秒激光納米制造的技術特點可概括為 “三高”,即高精度、高度設計性和高度功能化。

這3個技術特點均源自飛秒激光這種加工工具的高能量脈沖等超快激光特性。以中等大小的激光功率為例,飛秒激光輻射的能量密度高達1013 W/μm2。如此高的脈沖能量使三維飛秒激光制造的加工機制具有區別于以往加工手段的特點,具體表現為2 個方面:熱效應抑制和非線性吸收。由于飛秒激光具有十幾到上百飛秒的超短脈沖,其能量吸收時間遠小于熱弛豫等動力學過程所需時間,因此能夠有效抑制激光掃描區域的熱效應。或者說,飛秒激光可看作一種冷處理工具。飛秒激光的高能脈沖也使其光與物質間的相互作用與連續激光的情形截然不同,具體表現為所作用材料對飛秒激光的吸收表現為非線性,即雙光子或多光子吸收。

正是由于這種非線性吸收特性,飛秒激光加工不僅可達到遠超光學衍射極限的分辨率(10 nm 以下),還具有廣泛的材料加工能力,從聚合物軟材料到金屬、半導體和介電材料等硬材料,均可進行加工。與之對應的光物理/光化學過程也涵蓋燒蝕、光聚合、光還原和光致異構化等過程,不僅顯示了飛秒激光的強大加工能力,還激發了豐富的物理、化學現象與機制。可見,三維飛秒激光納米制造以飛秒激光為加工工具,以其獨特的非線性特性區別于其他加工手段,因此具有極高的加工精度和圖案化能力,是一種具有材料普適性的強大三維加工技術。

本文摘選自知乎論壇。

關鍵詞:
二十二世纪古墓奇兵mp4 彩票幸运飞艇游戏规则 七星高手论坛 江西多乐彩11选五走势图江西11选5前三组选 福建体彩22选5开奖公告 奇趣腾讯五分彩开奖 重庆福彩幸运农场奖金 云南11选5前1预测 天天彩票app下载 青海体彩11选五走势图快三 河北十一选五基本走势图一定牛 幸运28单双预测神测网 熊猫腾讯分分彩计划在线 加拿大快乐8开奖网站 江西快三下期预测 股票开户选哪个券商好 内蒙古11选五内蒙古11