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我國微納三維光刻技術發展現狀

分類:
技術服務
2018/11/06 14:12
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【摘要】:
在納米科研領域,與美、英、日、德等發達國家相比,雖然我們經過十幾年的追趕,在某些領域取得了舉世矚目的成就,但因為起步較晚,在很多核心技術上還是處于受制于人的不利位置。就近些年而言,以我國在納米領域已申請專利的構成情況與國外進行對比。我們發現,在IPC體系下,美、日、韓等發達國家,注冊專利數量最多的是需要通過極細微納米加工設備應用才能有研究成果的H01項下及B82項下的專利。

在納米科研領域,與美、英、日、德等發達國家相比,雖然我們經過十幾年的追趕,在某些領域取得了舉世矚目的成就,但因為起步較晚,在很多核心技術上還是處于受制于人的不利位置。

就近些年而言,以我國在納米領域已申請專利的構成情況與國外進行對比。我們發現,在IPC體系下,美、日、韓等發達國家,注冊專利數量最多的是需要通過極細微納米加工設備應用才能有研究成果的H01項下及B82項下的專利。國外這兩類領域的研究,關乎微電子、軍工、新能源等重量級產業。而我國研發最多的則在A61項下及B01項下的專利。我國這兩類領域的研究,僅關系到生活日用品制造和醫療等產業。根據統計分析我們發現,我國在納米化學、納米材料、納米微觀屬性理論研究等方面較強。但在在需要通過一些精密儀器設備才能推進研究的納米光電、納米通信、納米設備制造等納米主流核心技術方面,與發達國家還存在著明顯的差距。這種狀況很不利于我國納米主流技術的發展,以及未來對國外企業專利的阻擊。

盡管目前我國微納尺度三維光刻技術還處于發展初期,面臨許多挑戰性難題。但是它的發展潛力、社會需求和影響力是重大的,其巨大的潛能還遠遠沒有被完全挖掘和釋放出來。并且在2016年,黨中央、國務院,發布了《“十三五”國家科技創新規劃》,其中明確了科技創新2030重大項目細則。在“重大工程”中的第六項“智能設備制造”中,提到了三維(3D)打印裝備是國家鼓勵并且急需開發的重大項目。

深信通過更深入的研究,構建系統完善的微納尺度三維光刻體系結構,加強多學科交叉和融合,微納三維光刻技術必將成為一項重要的微納制造技術和強有力的工具。

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